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產(chǎn)品型號：TG220F廠商性質(zhì)：代理商更新時間：2025-10-15訪 問 量：320
產(chǎn)品分類
CLASSIFICATION
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詳細(xì)介紹
Osaka大阪真空小型耐大氣沖擊渦輪分子泵
Osaka大阪真空小型耐大氣沖擊渦輪分子泵
輕巧設(shè)計
節(jié)能
迅速啟動
使用破控功能可迅速停止
耐大氣沖擊能力強(qiáng)
經(jīng)400次大氣沖擊驗證
多種通信模式
符合安全規(guī)格NRTL/SEMI-S2/CE
用途
半導(dǎo)體制造
電子槍排氣，離子源排氣
FPD制造
表面處理，表面改質(zhì)
各種電子部件的制造
分析，試驗裝置
管球制造，光學(xué)部件制造
加速器，放射線設(shè)施，核聚變研究
熱處理
研究開發(fā)
※排放腐蝕性氣體時，請選擇耐腐蝕性的TG-M，TG系列。
| 吸氣口法蘭 | VG100 CF100 ISO-R100 | |
| 排氣速度 | N2 (L/s) | 220 |
| N2(附加金屬保護(hù)網(wǎng)) (L/s) | 210 | |
| H2 (L/s) | 100 | |
| 最大壓縮比 | N2 | 1×108 |
| H2 | 4×102 | |
| 極限壓力 | Pa/Torr | <1×10-6/<7.5×10-9 |
| 最大氣體流量※1 | N2 (sccm) | 400 |
| 啟動時間 | (min) | 1-1.2 |
| 停止時間 | (min) | 2.5-3.5 |
| 允許輔助壓力 | (Pa/Torr) | 260/2 |
| 推薦輔助泵 | (L/min) | ≧80 |
| 安裝角度 | 任意 | |
| 重量 | VG?ISO-R/CF(kg) | 4.2/6 |
※1：輔助泵的容量是160L/min情況下的最大容許流量
[ 使用環(huán)境溫度 ]
極限壓力保證環(huán)境溫度是10～23℃。另外，容許環(huán)境溫度在空冷情況下是10～32℃，水冷情況下是10～40℃。極限壓力保證冷卻水溫在30℃以下時容許冷卻水溫是10～35℃。
[ 對應(yīng)氣體種類 ]
由于排氣的氣體種類不同，可能導(dǎo)致泵內(nèi)零件的老化。關(guān)于對應(yīng)的氣體種類請咨詢銷售人員。
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