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產(chǎn)品型號：TG70F廠商性質(zhì)：代理商更新時間：2025-10-15訪 問 量：354
產(chǎn)品分類
CLASSIFICATION
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詳細(xì)介紹
Osaka Vacuum大阪真空小型耐振動渦輪分子泵
Osaka Vacuum大阪真空小型耐振動渦輪分子泵
H2最大壓縮比達(dá)到了105，適用于排放輕氣體
在高倍壓的情況下也可以連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)，排氣性能安定
輔助泵可以使用隔膜泵，實(shí)現(xiàn)了設(shè)備的小型化以及減少成本！
擁有將電源控制器與分子泵一體化和電源口控制器與分子泵獨(dú)立化的兩種產(chǎn)品
360度任意角度安裝
耐振動，可移動正在運(yùn)轉(zhuǎn)的真空泵
用途
半導(dǎo)體制造
電子槍排氣，離子源排氣
FPD制造
表面處理，表面改質(zhì)
各種電子部件的制造
分析，試驗(yàn)裝置
管球制造，光學(xué)部件制造
加速器，放射線設(shè)施，核聚變研究
熱處理
研究開發(fā)
※排放腐蝕性氣體時，請選擇耐腐蝕性的TG-M，TG系列。
| 型式 | TG70F | |
| 吸氣口法蘭 | ISO-R63/CF63 | |
| 排氣速度 | N2 (L/s) | 70/75 |
| N2(保護(hù)金網(wǎng)付) (L/s) | 65/70 | |
| H2 (L/s) | 40/45 | |
| 最大壓縮比 | N2 | 1×108 |
| H2 | 1×105 | |
| 極限壓力 | ISO-R(Pa/Torr) | <5×10-7/<3.8×10-9 |
| CF (Pa/Torr) | <1×10-7/<7.5×10-10 | |
| 最大氣體流量※1 | 自然風(fēng)冷 N2 (sccm) | 1 0 |
| 強(qiáng)制風(fēng)冷 N2 (sccm) | 2 0 | |
| 啟動時間 | (min) | 2-2.5 |
| 停止時間 | (Pa/Torr) | 1200/9 |
| 推薦輔助泵 | (L/min) | ≧25 |
| 安裝角度 | 自在 | |
| 重量 | ISO-R/CF(kg) | 3/5 |
| 控制器型號 | TC75（一體型）※2 | |
| 輸入電壓（V） | DC24V | |
| 所需最大電力（W) | 120W | |
※1：輔助泵的容量是25L/min情況下的最大容許流量
※2：可選擇泵和控制器一體型(TC75)或者是分離式型(TC76)
[ 對應(yīng)氣體種類 ]
由于排氣的氣體種類不同，可能導(dǎo)致泵內(nèi)零件的老化。關(guān)于對應(yīng)的氣體種類請咨詢銷售人員。
[ 使用環(huán)境溫度 ]
極限壓力保證環(huán)境溫度是10～23℃。另外，容許環(huán)境溫度是8～38℃
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