HOBIBA堀場(chǎng)HE-960H-TM-S玉科全新高精度 TMAH 濃度監(jiān)測(cè)儀
HOBIBA堀場(chǎng)玉科全新高精度 TMAH 濃度監(jiān)測(cè)儀

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HOBIBA堀場(chǎng)玉科全新高精度 TMAH 濃度監(jiān)測(cè)儀

高精度 TMAH 濃度監(jiān)測(cè)儀

具有高度耐化學(xué)性的碳傳感器，可以高精度測(cè)量 TMAH 濃度，這是光刻膠顯影解決方案的主要組成部分。

高精度
濃度：0–3%，電導(dǎo)率：0–1000 mS/cm，重復(fù)性：能夠測(cè)量 ±0.003wt% 以內(nèi)的 TMAH 濃度

顯示范圍自動(dòng)切換
顯示范圍從高濃度自動(dòng)切換到低濃度。此外，還可以在保持有效電導(dǎo)率分辨率的同時(shí)監(jiān)測(cè)變化。

3 次測(cè)量
能夠進(jìn)行三種測(cè)量，即 TMAH 濃度、電導(dǎo)率和溫度。

型號(hào)名稱	HE-960H-TM-S 系列
測(cè)量對(duì)象	四甲基氫氧化氫
測(cè)量范圍	濃度：0 - 3%，電導(dǎo)率：0 - 1000 mS/cm
重復(fù)性	+/- 0.003wt% 以內(nèi)（溫度變化小于 +/- 0.5°C，使用等效電導(dǎo)率輸入）
線性	+/- 0.003wt% 以內(nèi)（使用等效電導(dǎo)率輸入）
傳輸輸出	輸出數(shù)量：4
觸點(diǎn)輸出	輸出：5 點(diǎn)
通信輸出	RS-485 系列
電源	24V 直流 +/- 10% 10W
兼容的傳感器	FES-510 系列
傳感器的接液材料	GC、PFA、Karletz®

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