在半導體制造過程中，精確控制化學藥液的濃度對產品質量至關重要，而HORIBA的HF-960M系列正是為此而生的精密監(jiān)測解決方案。

在半導體清潔工藝中，隨著設備的小型化發(fā)展，RCA清潔過程中化學藥液的低濃度控制需求日益增長。HORIBA低濃度型HF/HCl濃度監(jiān)測儀應運而生，它采用具有出色耐腐蝕性的傳感器，能夠對低濃度的氯化氫和氨氣進行高精度、高速測量，成為單槽清洗和晶圓清洗過程的理想選擇。

01 產品概述與設計理念

HORIBA HF-960M低濃度型HF/HCl/NH?濃度計是專為半導體行業(yè)濕法工藝控制設計的精密監(jiān)測設備。該儀器采用無鉛焊料將芯片嵌入印刷電路板，符合環(huán)保RoHS標準，體現(xiàn)了HORIBA在精密儀器制造與環(huán)境保護方面的雙重承諾。

在半導體清洗過程中，化學藥液的濃度控制直接關系到清洗效果和產品良率。HF-960M通過其獨特的傳感器技術和精密的測量系統(tǒng)，實現(xiàn)了對HF、HCl和NH?三種化學物質的低濃度精確監(jiān)測，測量范圍分別達到HF：0-5000 ppm、HCl：0-5000 ppm、NH?：0-10000 ppm。

該設備采用面板安裝式設計，結構緊湊，外部尺寸僅為96（寬）x 96（高）x 115（深）mm，重量約550克，非常適合在空間受限的半導體設備中集成使用。

02 核心技術特點

HF-960M濃度監(jiān)測儀融合了多項創(chuàng)新技術，確保在苛刻的工業(yè)環(huán)境下仍能保持性能。

多參數(shù)測量能力是HF-960M的突出特點。該設備可同時提供HF濃度、HCl濃度、NH?濃度、電導率和溫度五種測量模式，用戶無需購買多臺設備即可滿足多種監(jiān)測需求。

在測量性能方面，HF-960M實現(xiàn)了±25ppm的高再現(xiàn)性，顯示分辨率達到5000ppm（相當于0.5%），能夠滿足半導體制造中對低濃度化學藥液的精確控制要求。

設備的模擬輸出功能極為靈活，可以在濃度測量范圍內任意設置模擬輸出范圍，為用戶提供更精細的濃度值輸出。同時，儀器提供7個輸出點和3通道傳輸輸出，便于與各種控制系統(tǒng)集成。

濃度轉換功能通過輸入化學濃度與電導率和溫度特性之間的關系，實現(xiàn)精確的濃度換算，特別適用于低濃度化學溶液的稀釋控制。

03 測量原理與傳感器技術

HF-960M采用的FS-10F系列流通式傳感器具有的耐腐蝕性能，能夠在高腐蝕性化學環(huán)境中長期穩(wěn)定工作。

傳感器基于電導率測量原理，通過測量溶液的電導率變化來推算化學物質的濃度。電導率測量范圍為0-50.0 mS/cm，配合高精度的溫度補償算法，確保在各種工況下都能獲得準確的濃度數(shù)據(jù)。

對于HF、HCl和NH?濃度的測量，設備根據(jù)各自的溫度特性數(shù)據(jù)，通過溫度補償技術實現(xiàn)精確測量。這種補償機制有效消除了環(huán)境溫度波動對測量結果的影響，保證了數(shù)據(jù)的可靠性和重復性。

與傳統(tǒng)的光學測量方法相比，HORIBA采用的這種電化學測量技術更適合在半導體制造過程中的復雜化學環(huán)境下進行長期穩(wěn)定監(jiān)測，且維護需求更低。

04 應用領域與解決方案

HF-960M主要應用于半導體制造業(yè)的濕法工藝控制，特別擅長解決現(xiàn)代半導體生產中的精密清洗挑戰(zhàn)。

在單晶圓清洗過程中，化學藥液的濃度控制至關重要。HF-960M可實時監(jiān)測清洗液中HF、HCl的濃度變化，確保每一片晶圓都能在最佳工藝條件下進行清洗，從而提高產品良率和一致性。

對于RCA標準清洗工藝，HF-960M能夠精確監(jiān)控SC-1（NH?OH/H?O?/H?O）、SC-2（HCl/H?O?/H?O）等清洗液中的化學濃度，確保清洗效果的同時減少化學品的消耗。

除了半導體制造業(yè)，該設備還可應用于平板顯示（FPD）制造、太陽能電池生產以及其他需要精確控制低濃度HF、HCl或NH?的精密化工業(yè)領域。

05 產品規(guī)格與性能參數(shù)

HF-960M在各項性能指標上都表現(xiàn)出色，以下為其主要技術參數(shù)：

設備的工作環(huán)境要求為周圍溫度-5～45℃，相對濕度20～85％（無凝露），保存溫度范圍為-25～65℃，適應大多數(shù)工業(yè)環(huán)境的要求。

06 系統(tǒng)集成與輸出功能

HF-960M設計了豐富的輸出功能，便于與現(xiàn)代工業(yè)自動化系統(tǒng)無縫集成。

設備提供4-20mA DC模擬輸出，可在濃度測量范圍的0-200%內自由設定，使用戶能夠根據(jù)實際需要優(yōu)化輸出信號的解析度。

7個觸點輸出點不僅可以輸出各濃度的上下限，還能輸出濃度異常和異常樣品測定等多種信號，為系統(tǒng)提供全面的狀態(tài)監(jiān)測信息。

3通道傳輸輸出使設備能夠同時輸出濃度、電導率和溫度數(shù)據(jù)，滿足多參數(shù)同步監(jiān)控的需求。

此外，設備支持濃度轉換功能，通過內置的算法將電導率和溫度數(shù)據(jù)轉換為特定化學品的濃度值，大大簡化了系統(tǒng)配置和數(shù)據(jù)處理流程。

07 操作與維護特點

HF-960M在設計上充分考慮了用戶的使用便利性和維護需求，具有多項人性化特點。

設備的面板安裝結構和IP65防護等級使其能夠直接安裝在清潔設備的控制面板上，既節(jié)省空間又便于觀察和操作。

簡潔的用戶界面和直觀的操作流程降低了操作人員的培訓成本，即使是非專業(yè)人員也能快速掌握設備的使用方法。

在維護方面，傳感器采用的耐腐蝕材料和模塊化設計延長了設備的使用壽命，同時減少了維護頻率和備件成本。

自診斷功能可以實時監(jiān)測設備狀態(tài)，及時發(fā)現(xiàn)潛在問題，提醒用戶進行預防性維護，避免因設備故障導致的生產中斷。

08 技術優(yōu)勢與市場競爭力

與其他品牌的濃度監(jiān)測儀相比，HORIBA HF-960M具有多方面的技術優(yōu)勢。

高精度與高重復性使HF-960M在低濃度測量領域表現(xiàn)，±25ppm的重復性指標在同類產品中處于水平。

多參數(shù)集成測量能力減少了用戶需要采購的設備數(shù)量，簡化了系統(tǒng)結構，降低了總體擁有成本。

耐腐蝕性能確保了設備在苛刻的化學環(huán)境中仍能保持長期穩(wěn)定性，減少了因設備故障導致的生產停頓風險。

靈活的輸出配置使設備能夠適應各種自動化系統(tǒng)的接口要求，提供了出色的系統(tǒng)集成靈活性。

緊湊的結構設計使其特別適合在空間受限的半導體設備中集成使用，這一點在設備小型化趨勢日益明顯的半導體行業(yè)中尤為重要。

HORIBA HF-960M低濃度型HF/HCl濃度監(jiān)測儀憑借其精密測量技術、穩(wěn)定性能和廣泛的應用適應性，已成為半導體制造和精密化工行業(yè)中的過程控制工具。

隨著半導體技術不斷向更小制程、更高集成度發(fā)展，對工藝化學品的精確控制要求將愈加嚴格，HORIBA將繼續(xù)通過其技術優(yōu)勢和創(chuàng)新精神，為產業(yè)提供更先進、更可靠的監(jiān)測解決方案，為科技進步保駕護航。