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當(dāng)前位置:首頁(yè)  >  產(chǎn)品中心  >  HORIBA堀場(chǎng)  >  濃度監(jiān)測(cè)儀  >  CS-100F1HOBIBA堀場(chǎng) 光纖式化學(xué)溶液濃度監(jiān)測(cè)儀

HOBIBA堀場(chǎng) 光纖式化學(xué)溶液濃度監(jiān)測(cè)儀
簡(jiǎn)要描述:

HOBIBA堀場(chǎng) CS-100F1光纖式化學(xué)溶液濃度監(jiān)測(cè)儀
HOBIBA堀場(chǎng) 光纖式化學(xué)溶液濃度監(jiān)測(cè)儀

  • 產(chǎn)品型號(hào):CS-100F1
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2025-10-14
  • 訪  問(wèn)  量:330

詳細(xì)介紹

HOBIBA堀場(chǎng) 光纖式化學(xué)溶液濃度監(jiān)測(cè)儀

HOBIBA堀場(chǎng) 光纖式化學(xué)溶液濃度監(jiān)測(cè)儀

光纖式化學(xué)溶液濃度監(jiān)測(cè)儀

CS-100F1 系列

基于光纖的在線實(shí)時(shí)化學(xué)品濃度監(jiān)測(cè)器,可測(cè)量半導(dǎo)體制造過(guò)程(如清潔和蝕刻)中使用的化學(xué)品。

可以獲得在線實(shí)時(shí)測(cè)量。單個(gè)濃度監(jiān)測(cè)器能夠同時(shí)測(cè)量多達(dá)四種類(lèi)型(化學(xué)品或范圍),使其適用于單個(gè)晶圓清潔中的測(cè)量。

CS-151F1 系列CS-152F1 系列CS-150F1 型

測(cè)量對(duì)象
SC-1
(氨/過(guò)氧化
氫水溶液)
SC-2
(鹽酸/過(guò)氧化氫
水溶液)
SPM
(硫酸/過(guò)氧化氫
水溶液)
一個(gè)單元最多可提供 4 種化學(xué)溶液或范圍的多重監(jiān)測(cè)。
測(cè)量原理吸收光譜法
濃度計(jì)算
原理
溫度補(bǔ)償多變量分析
測(cè)量范圍
(質(zhì)量 %)

H
2O2: 0.00% 至 5.00%
H
2O: 94.0% 至 100.0%
HCI:0.00% 至 2.00%
H
2O2:0.00% 至 2.00%
H
2O: 96.0% 至 100.0%
H2所以4:70.0% 至 96.0%
H
2O2: 0.00% 至 10.00%
H
2O: 4.0% 至 30.0%
重復(fù)性(質(zhì)量 %)
(±1% 室溫內(nèi))

H
2O2: ±0.30%
H
2O: ±1.5%
HCI:±0.15%
H
2O2: ±0.15 %
H
2O: ±1.5%
H2所以4:±0.50%
H
2O2:±0.50%
H
2O: ±1.5%
?上述列表的重復(fù)性是針對(duì)單元類(lèi)型的。請(qǐng)聯(lián)系我們了解在線比色皿類(lèi)型的可重復(fù)性。
?根據(jù)測(cè)量范圍,上述列表可能會(huì)有所不同。(詳情請(qǐng)參閱我們的網(wǎng)站。
樣品溶液溫度20 到 80:(使用 Inline Cell 時(shí))20 到 30:(使用 Cell Unit 時(shí))
測(cè)量周期約 3 秒
LCD 和輸入的內(nèi)容
• 第 1 個(gè)組件:測(cè)得的濃度值 (%) •錯(cuò)誤代碼
• 第 2 個(gè)組件:測(cè)得的濃度值 (%) •并聯(lián)濃度警報(bào)輸出無(wú)效狀態(tài)
• 第 3 個(gè)組件:測(cè)得的濃度值 (%) •串行/并聯(lián)狀態(tài)
• 第 1 個(gè)和第 2 個(gè)組件:濃度警報(bào)狀態(tài) •背景補(bǔ)償數(shù)據(jù)
RS-232C 串行輸入• 串行/并聯(lián)狀態(tài)切換 • 并聯(lián)濃度報(bào)警輸出狀態(tài)
• 測(cè)量數(shù)據(jù)傳輸請(qǐng)求(有效/無(wú)效)
• 第 1 組分和第 2 組分濃度報(bào)警設(shè)置 • 目標(biāo)測(cè)量溶液切換
并行輸入12 至 30 V DC(光電耦合器絕緣) • 并聯(lián)濃度報(bào)警輸出
• 目標(biāo)測(cè)量溶液切換
• 背景補(bǔ)償
并行輸出集電極開(kāi)路輸出(光電耦合器絕緣) • 第一成分濃度報(bào)警,4種 開(kāi)啟時(shí)
最大電流: • 第二成分濃度報(bào)警,4種DC
5 mA(無(wú)內(nèi)部保護(hù)電阻) • 設(shè)備錯(cuò)誤
關(guān)閉時(shí)最大外加電壓:30 V DC • 測(cè)量
• 目標(biāo)測(cè)量溶液類(lèi)型
• 背景補(bǔ)償狀態(tài)
溶液溫度輸入接線端子連接(M3 端子螺釘)
• 鉑電阻溫度傳感器:Pt100(Pt100 傳感器應(yīng)由客戶準(zhǔn)備)
模擬輸出• 第 1 組分濃度警報(bào),4 種類(lèi)型:4 至 20 mA
• 第 2 組分濃度警報(bào),4 種類(lèi)型:4 至 20 mA
?我們還支持其他測(cè)量范圍。請(qǐng)?jiān)谟嗁?gòu)時(shí)注明。
光纜專(zhuān)用 CS-100F1 系列光纜(25 ±15:安裝溫度)
樣品池我們可以為各種化學(xué)溶液提供專(zhuān)用樣品池(在線池或池單元)。
電源100 V 至 230 V AC(單相)±10%、50/60 Hz、約 100 VA
尺寸205 (W) x 329 (D) x 269 (H) mm 8.1 (W) x 13.0 (D) x 10.6 (H) 英寸(不包括突出部分)
重量約 11 kg


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