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詳細介紹
HOBIBA堀場原裝光纖式熱磷酸濃度監(jiān)測儀
HOBIBA堀場原裝光纖式熱磷酸濃度監(jiān)測儀
光纖式熱磷酸濃度監(jiān)測儀
非常適合管理磷酸濃度，主要用于 3D NAND 閃存 SiN 層的蝕刻工藝*1，這是半導體制造工藝的一部分。
*1 SiN 層：在硅晶片和類似襯底上形成的由硅和氮化合物組成的薄膜。
| 產品名稱 | 化學溶液監(jiān)測儀 | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| 型 | CS-620F 系列 | ||||
| 測量原理 | 吸收光譜法 | ||||
| 計算原理 | 溫度補償型多變量分析 | ||||
| 樣本 | H3采購訂單4/小時2O | ||||
可測量范圍 | 元件 | 可測量范圍 （mass%） | 重復性 （mass%） | 模擬輸出 范圍（質量%） | |
| 第 1 個解決方案 | H3采購訂單4 | 85.00-92.00 | +/-0.10 | 85.00-100.00 | |
| H2O | 8.0-15.0 | +/-0.3 | 0.0-15.0 | ||
| ? 重復性由平均值（1 小時）的最大誤差定義。 ? 使用相同化學品進行低溫測量 （140°C） 和高溫測量 （170°C） 時， 可能會有差異（最大 +/- 0.30%）。 | |||||
| 測量條件 | 1） 測量間隔：約 3 秒（最?。?br _istranslated="1" style="box-sizing: border-box;"/>2） 移動平均：16 次 | ||||
| 連接配件尺寸 | 1 英寸或 3/4 英寸 | ||||
| 樣品條件 | 樣品溫度：140 至 170°C 大氣溫度、化學溫度波動：+/- 1°C 以內（時間：1 小時） 輸入壓力：0.2 MPa 或更低 壓力波動：0.02 MPa 或更低 流量：1 至 30 L/min | ||||
| 空氣（用于作和吹掃） | 連接端口：4 mm 外徑快速接頭 壓力：0.2 MPa ± 0.02 MPa | ||||
| 電源 | 100 至 230 V AC（單相），50/60 Hz | ||||
| 功耗 | 約 85 VA（不包括啟動時的瞬態(tài)電流） | ||||
| 通信 | 并行 I/O、RS-232C、模擬輸出 | ||||
| 尺寸 | （監(jiān)視器） 200 （W） × 308 （D） × 78 （H） mm （燈單元） 200 （W） × 262 （D） × 100 （H） mm （樣品池） 240 （W） × 209 （D） × 205 （H） mm | ||||
| 重量 | （監(jiān)視器）約 3.6 kg （燈單元） 約 2.8 kg （樣品池） 約 3.0 kg | ||||
| 環(huán)境溫度 | （監(jiān)視器、燈單元） 20 至 30°C （光纖、樣品池） 20 至 100°C * 應避免溫度突然變化，在 +/- 1°C/1 小時內 | ||||
| 環(huán)境濕度 | （顯示器、燈單元） 40 至 70%（應無結露） | ||||
| 安裝傾斜角度 | （顯示器、燈單元）+/-1 度 以內（樣品池） 請安裝，以免氣泡停留。 | ||||
| 光纖 | 長度： 5 m， 彎曲半徑： R150 mm | ||||
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