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產(chǎn)品型號(hào)：TG50F廠商性質(zhì)：代理商更新時(shí)間：2025-10-15訪 問(wèn) 量：283
產(chǎn)品分類(lèi)
CLASSIFICATION
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詳細(xì)介紹
Osaka Vacuum大阪真空小型復(fù)合分子泵
Osaka Vacuum大阪真空小型復(fù)合分子泵
全面安裝
輕巧設(shè)計(jì)
節(jié)能
迅速啟動(dòng)
使用破控功能可迅速停止
耐大氣沖擊能力強(qiáng)
多種通信模式
用途
半導(dǎo)體制造
電子槍排氣，離子源排氣
FPD制造
表面處理，表面改質(zhì)
各種電子部件的制造
分析，試驗(yàn)裝置
管球制造，光學(xué)部件制造
加速器，放射線設(shè)施，核聚變研究
熱處理
研究開(kāi)發(fā)
※排放腐蝕性氣體時(shí)，請(qǐng)選擇耐腐蝕性的TG-M，TG系列。
| 吸氣口法蘭 | VG65/ISO-R63/CF63 | |
| 排氣速度 | N2 (L/s) | 51 |
| N2(附加金屬保護(hù)網(wǎng)) (L/s) | 49 | |
| H2 (L/s) | 12 | |
| 最大壓縮比 | N2 | 1.4×107 |
| H2 | 5×102 | |
| 極限壓力 | VG?ISO-R/CF (Pa) | <3×10-6 |
| VG?ISO-R/CF (Torr) | <2.3×10-8 | |
| 最大氣體流量※1 | N2 (sccm) | 80 |
| 啟動(dòng)時(shí)間 | (min) | 1-1.5 |
| 停止時(shí)間 | (min) | 1-1.5 |
| 允許輔助壓力 | (Pa/Torr) | 1330/10 |
| 推薦輔助泵 | (L/min) | ≧50 |
| 安裝角度 | 任意 | |
| 重量 | VG?ISO-R/CF(kg) | 4.2/6 |
※1：輔助泵的容量是100L/min情況下的最大容許流量
[ 使用環(huán)境溫度 ]
極限壓力保證環(huán)境溫度是10～23℃。另外，容許環(huán)境溫度在空冷情況下是10～32℃，水冷情況下是10～40℃。極限壓力保證冷卻水溫在30℃以下時(shí)容許冷卻水溫是10～35℃。
[ 對(duì)應(yīng)氣體種類(lèi) ]
由于排氣的氣體種類(lèi)不同，可能導(dǎo)致泵內(nèi)零件的老化。關(guān)于對(duì)應(yīng)的氣體種類(lèi)請(qǐng)咨詢銷(xiāo)售人員。
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