HORIBA堀場全新壓差式質量流量控制器

HORIBA堀場全新壓差式質量流量控制器

壓差式質量流量控制器 D500

壓差式質量流量控制器

這款技術優(yōu)良的壓差式質量流量控制器具備壓差檢測功能和壓電驅動閥。

高性能 CRITERION D500 適用于一系列優(yōu)良的半導體制程，具有壓力補償，多量程/多氣體/多壓力，G-LIFE（集成限流器方程的氣體定律校驗）自診斷功能，高精度、快速響應、寬量程、全金屬等特點。

• 壓力不敏感性能
  高性能壓力補償新功能簡化了供氣系統(tǒng)

• 多量程、多氣體、多壓力解決方案
  新功能允許用戶改變氣體類型、滿量程流量和供壓范圍

• G-LIFE（集成限流器方程的氣體定律校驗）自診斷功能
  優(yōu)良的工藝健康監(jiān)控功能允許操作人員自行進行測試，即使提高通過量，通常也能在三秒或更短的時間內完成測試。

• 高精度
  優(yōu)良的三維調整功能提高了工藝氣的流量精度

• 快速響應
  響應時間：< 0.8 秒
  可實現(xiàn)精確、穩(wěn)定的流量控制

• 動態(tài)范圍
  控制范圍廣：0.2% 滿量程 至 100% 滿量程