日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體卷繞式真空沉積設(shè)備

日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體卷繞式真空沉積設(shè)備

卷繞式真空蒸鍍設(shè)備EWG系列

這是利用電阻加熱方式將鋁蒸鍍到二次電池用塑料薄膜上的成膜裝置。

特征

• 我們的沉積技術(shù)顯著提高了基板冷卻效率并減少了沉積過程中造成的熱損傷。

• 先進(jìn)的收卷控制系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)超薄膜的穩(wěn)定、高速收卷，并配備防皺輥。

• 使用雙面批量沉積技術(shù)實(shí)現(xiàn)高生產(chǎn)率

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