特征

• 可配備各種蒸發(fā)源（EB、電阻、EB+電阻）

• 根據(jù)工藝（升空、行星、衛(wèi)星等）的基材支架

• 兼容Φ2英寸至6英寸基板、矩形基板、硅、化合物、玻璃和陶瓷基板。

• 液晶觸摸屏集中顯示和操作

• 使用 PC 的出色操作性和功能（配方功能、數(shù)據(jù)記錄、維護(hù)輔助功能）

目的

• 功率器件等相關(guān)化合物

• LED、LD、高速器件

• 用于各種實(shí)驗(yàn)

• 其他一般電子零件

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