在半導(dǎo)體和液晶制造的無塵世界中，一粒微塵就可能造成數(shù)百萬的損失，而ULVAC愛發(fā)科的密閉式電機(jī)羅茨泵正是這些產(chǎn)業(yè)的守護(hù)者。

在現(xiàn)代科技產(chǎn)業(yè)中，真空技術(shù)是半導(dǎo)體、液晶制造、精密化工等領(lǐng)域的核心支撐。羅茨泵，作為中真空范圍的關(guān)鍵設(shè)備，其性能直接關(guān)系到整個(gè)真空系統(tǒng)的效率和穩(wěn)定性。

日本ULVAC愛發(fā)科作為真空技術(shù)的企業(yè)，其采用密閉式電機(jī)設(shè)計(jì)的羅茨泵，憑借獨(dú)特的技術(shù)優(yōu)勢和的可靠性，在制造領(lǐng)域占據(jù)了重要地位。

01 創(chuàng)新原理：密閉式電機(jī)的技術(shù)突破

ULVAC愛發(fā)科羅茨泵采用的密閉式電機(jī)，實(shí)質(zhì)上是一種屏蔽電機(jī)技術(shù)，通過封閉的設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)了革命性的突破。

傳統(tǒng)真空泵的電機(jī)通常通過軸封與真空環(huán)境隔離，但這些機(jī)械密封件長期使用后難免會(huì)出現(xiàn)磨損，導(dǎo)致潤滑油泄漏，污染真空環(huán)境和工藝產(chǎn)品。

ULVAC的密閉式電機(jī)設(shè)計(jì)解決了這一行業(yè)痛點(diǎn)。它通過采用屏蔽電機(jī)，消除了空氣/真空機(jī)械密封，使得電機(jī)與泵腔之間隔離。 這種設(shè)計(jì)可以在清潔的環(huán)境中使用，不用擔(dān)心漏油問題。

密閉式電機(jī)的核心技術(shù)在于其特殊的絕緣和冷卻系統(tǒng)。電機(jī)內(nèi)部線圈采用專門的絕緣材料，能夠抵抗油蒸汽和化學(xué)氣體的侵蝕，確保在苛刻環(huán)境下的長期穩(wěn)定運(yùn)行。

與普通電機(jī)相比，這種設(shè)計(jì)還顯著降低了故障風(fēng)險(xiǎn)和維護(hù)需求，為連續(xù)生產(chǎn)工藝提供了可靠保障。

02 產(chǎn)品系列：全面滿足多樣化需求

ULVAC愛發(fā)科羅茨泵擁有多個(gè)產(chǎn)品系列，每個(gè)系列都針對(duì)特定的應(yīng)用場景和需求而設(shè)計(jì)，展現(xiàn)了其技術(shù)的全面性和適應(yīng)性。

PRC系列是ULVAC的明星產(chǎn)品，專為對(duì)清潔度要求特別高的半導(dǎo)體和液晶制造工藝而設(shè)計(jì)。 該系列包括PRC-003A、PRC-006A、PRC-012A和PRC-018A等多種型號(hào)，大抽速從280立方米/小時(shí)到1500立方米/小時(shí)不等。

PRC系列采用屏蔽式三相異步電動(dòng)機(jī)，功率從0.75千瓦到5.5千瓦不等，全部采用水冷冷卻方式，確保了高效散熱和穩(wěn)定運(yùn)行。

PMB系列則是ULVAC的通用型羅茨泵，具有更廣泛的適用性。 該系列可以選擇表面處理或大氣壓驅(qū)動(dòng)型，甚至可以在空冷下運(yùn)轉(zhuǎn)，提供了更大的靈活性。

PMB系列采用陽極氧化鋁表面處理，具有高表面硬度和優(yōu)異的耐腐蝕性，可有效防止泵內(nèi)部劃傷和腐蝕。

NB系列羅茨泵是專為潔凈度要求較高的場合設(shè)計(jì)的，其特點(diǎn)是腔體內(nèi)沒有潤滑油，即使面對(duì)水蒸氣、溶劑等氣體也有穩(wěn)定的排氣性能。

該系列選用比標(biāo)準(zhǔn)電機(jī)容量大一級(jí)的電機(jī)，實(shí)現(xiàn)在高吸入壓強(qiáng)下的運(yùn)轉(zhuǎn)。

03 性能特點(diǎn)：技術(shù)優(yōu)勢解析

ULVAC愛發(fā)科密閉式電機(jī)羅茨泵具有多項(xiàng)性能優(yōu)勢，使其在工業(yè)應(yīng)用中表現(xiàn)。

無油設(shè)計(jì)是ULVAC羅茨泵的核心優(yōu)勢之一。 由于泵殼室內(nèi)沒有潤滑油，即使面對(duì)水蒸氣、溶劑等蒸汽也能發(fā)揮穩(wěn)定的性能。 這一特性使得ULVAC泵在化工、鍍膜等對(duì)油污染敏感的應(yīng)用中尤為重要。

耐腐蝕性是另一大亮點(diǎn)。 主要部件均采用陽極氧化鋁處理，表面硬度高，耐腐蝕性能優(yōu)異，可防止泵內(nèi)部劃傷和腐蝕。 也可以根據(jù)實(shí)際需要選擇不進(jìn)行表面處理的型號(hào)。

大氣壓驅(qū)動(dòng)能力通過安裝變頻器實(shí)現(xiàn)，可以在整個(gè)壓力范圍內(nèi)運(yùn)行，大幅縮短排氣時(shí)間。 由于可與低真空泵同時(shí)啟動(dòng)，與標(biāo)準(zhǔn)型相比，能有效縮短排氣時(shí)間。

ULVAC羅茨泵還采用封閉式電機(jī)設(shè)計(jì)，特別是PRC系列，通過采用屏蔽電機(jī)，消除了大氣/真空的機(jī)械密封，用戶可以在干凈的環(huán)境中使用，不用擔(dān)心漏油問題。

靈活的配置選項(xiàng)滿足了不同應(yīng)用場景的需求。PRC系列提供標(biāo)準(zhǔn)型、X型和F型等多種型號(hào)，分別適用于普通氣體排氣、想抑制水分吸附對(duì)極限壓力影響的環(huán)境，以及腐蝕性氣體、可燃?xì)怏w和氧化性氣體等苛刻條件。

04 應(yīng)用領(lǐng)域：廣泛工業(yè)場景的真空解決方案

ULVAC愛發(fā)科密閉式電機(jī)羅茨泵憑借其性能，在多個(gè)工業(yè)領(lǐng)域找到了用武之地。

在半導(dǎo)體和液晶顯示器制造過程中，ULVAC的PRC系列羅茨泵發(fā)揮著不可替代的作用。 其無油蒸汽特性防止了產(chǎn)品污染，封閉式電機(jī)設(shè)計(jì)確保了生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度。

真空鍍膜應(yīng)用，包括氣相沉積、濺射和離子鍍等工藝，都離不開ULVAC羅茨泵的支持。 在這些過程中，羅茨泵協(xié)助創(chuàng)造并維持所需的高真空環(huán)境，確保鍍膜質(zhì)量均勻一致。

在化工和制藥行業(yè)，ULVAC羅茨泵同樣廣泛應(yīng)用，特別是在真空干燥、冷凍干燥和真空脫氣等工藝中。 其耐腐蝕設(shè)計(jì)能夠應(yīng)對(duì)各種化學(xué)蒸汽，確保長期穩(wěn)定運(yùn)行。

分析設(shè)備和泄漏測試系統(tǒng)中也能見到ULVAC羅茨泵的身影。 在這些精密設(shè)備中，羅茨泵提供快速、可靠的真空環(huán)境，保證測試結(jié)果的準(zhǔn)確性。

熱處理爐、熔煉爐以及氣體置換、填充、真空絕熱等應(yīng)用也都是ULVAC羅茨泵的傳統(tǒng)優(yōu)勢領(lǐng)域。 其高可靠性和穩(wěn)定性確保了這些工業(yè)過程的順利進(jìn)行。

05 技術(shù)規(guī)格：核心參數(shù)詳解

ULVAC愛發(fā)科各系列羅茨泵都有其特定的技術(shù)規(guī)格，滿足不同應(yīng)用場景的需求。

以PRC系列為例，不同型號(hào)的性能參數(shù)有所區(qū)別：

PRC-003A的大抽速在50Hz情況下為280立方米/小時(shí)，大吸氣壓力為1.2×103Pa，極限壓力為4.0×10-1Pa。

PRC-006A的大抽速在50Hz情況下為500立方米/小時(shí)，大吸氣壓力為1.3×103Pa，極限壓力為6.7×10-1Pa。

PRC-012A和PRC-018A在50Hz情況下的大抽速分別達(dá)到1000立方米/小時(shí)和1500立方米/小時(shí)。

在電機(jī)規(guī)格方面，PRC系列采用屏蔽式三相異步電動(dòng)機(jī)。 PRC-003A配備0.75千瓦（2極）電機(jī)，PRC-006A配備2.2千瓦（2極）電機(jī)，PRC-012A和PRC-018A則分別配備3.7千瓦和5.5千瓦的2極電機(jī)。

冷卻系統(tǒng)對(duì)于羅茨泵的穩(wěn)定運(yùn)行至關(guān)重要。PRC系列采用水冷方式，冷卻水溫度要求在5～30℃之間。 PRC-003A和PRC-006A的冷卻水量分別為2升/分鐘和3升/分鐘。

外形尺寸和重量也是設(shè)備選型時(shí)需要考慮的因素。PRC-003A的外形尺寸為296×575×260毫米，重量為51公斤；而大的PRC-018A尺寸為406×989×340毫米，重量達(dá)到150公斤。

06 選型指南：如何選擇合適的羅茨泵

面對(duì)ULVAC豐富的產(chǎn)品線，如何選擇合適的羅茨泵成為用戶關(guān)注的重點(diǎn)。以下是一些選型的關(guān)鍵考慮因素：

氣體類型是首要考慮因素。對(duì)于普通氣體排氣，可選擇標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)；對(duì)于腐蝕性氣體、可燃?xì)怏w和氧化性氣體，則應(yīng)選擇表面處理并使用氟油的F型號(hào)。

抽速要求直接決定了泵的型號(hào)大小。根據(jù)應(yīng)用場景的大氣體負(fù)載，選擇具有相應(yīng)抽速的泵型。PRC系列從280立方米/小時(shí)到1500立方米/小時(shí)的抽速范圍，可以滿足大多數(shù)應(yīng)用需求。

極限壓力要求也是一個(gè)關(guān)鍵因素。PRC系列的極限壓力在4.0×10-1Pa到6.7×10-1Pa之間，確保泵在高效區(qū)內(nèi)運(yùn)行。

安裝環(huán)境同樣不可忽視。根據(jù)現(xiàn)場空間選擇適合的安裝方式，并考慮冷卻方式的選擇——水冷或空冷，不同冷卻方式對(duì)配套設(shè)施的要求不同。

特殊需求也不容忽視。如需要大氣壓驅(qū)動(dòng)，應(yīng)選擇帶變頻器的型號(hào)；如對(duì)清潔度有高要求，則應(yīng)選擇PRC系列等專用型號(hào)。

07 維護(hù)保養(yǎng)：確保長期穩(wěn)定運(yùn)行

正確的使用和定期維護(hù)是保證ULVAC愛發(fā)科羅茨泵長期穩(wěn)定運(yùn)行的關(guān)鍵。用戶需遵循一系列操作規(guī)范，以充分發(fā)揮設(shè)備性能。

油品管理是維護(hù)的重要一環(huán)。雖然羅茨泵本身是無油的，但與之配套的輔助泵可能需要使用油品。 應(yīng)定期檢查油位和油質(zhì)，按推薦周期更換潤滑油。PRC系列通常使用ULVOIL R-42礦物油，也可根據(jù)特殊需求選擇氟油。

冷卻系統(tǒng)維護(hù)對(duì)于水冷型羅茨泵至關(guān)重要。應(yīng)確保冷卻水流量和水溫在要求范圍內(nèi)——PRC系列的冷卻水溫度要求在5～30℃之間，流量根據(jù)型號(hào)不同從2升/分鐘到3升/分鐘不等。

定期檢查和清潔是預(yù)防性維護(hù)的基礎(chǔ)。定期清潔泵外部，檢查是否有異常振動(dòng)或噪音。檢查各連接部位是否有松動(dòng)，密封部位是否有泄漏。

對(duì)于在高負(fù)荷條件下運(yùn)行的泵，如在高吸入壓力下連續(xù)運(yùn)行且經(jīng)常在大氣和真空中反復(fù)排氣的情況，建議加強(qiáng)監(jiān)控和維護(hù)頻率，以保護(hù)泵并延長其使用壽命。

長期停用時(shí)的保護(hù)措施也不可忽視。長期不使用時(shí)，應(yīng)排凈冷卻水，特別是冬季防止凍裂；對(duì)泵進(jìn)行必要的防銹處理；定期盤車，防止部件粘連；恢復(fù)使用前應(yīng)進(jìn)行全面的檢查和測試。

從半導(dǎo)體芯片的微觀世界到大型工業(yè)熱處理設(shè)備，ULVAC愛發(fā)科密閉式電機(jī)羅茨泵以其的性能和可靠性，為現(xiàn)代制造業(yè)提供了堅(jiān)實(shí)的真空技術(shù)基礎(chǔ)。

隨著新材料、新工藝的不斷涌現(xiàn)，ULVAC愛發(fā)科將繼續(xù)推動(dòng)羅茨泵技術(shù)的創(chuàng)新，在追求更高清潔度、更高效率、更高可靠性的道路上不斷前行，為制造業(yè)的發(fā)展提供強(qiáng)有力的支持。